Fabrication Process

Photolithography는 반도체 제조공정에 있어 patterning을 위해 빠질 수 없는 전공정 과정 중 하나로서, 대학 연구실에서도 소자제작을 위해 사용하는 공정입니다. wafer-scale integration 등 보다 single device demonstration 등에 집중한 경우 SEM 등에 별도 e-beam 장비를 설치하여 e-beam lithography를 이용해 원하는 패턴을 만드는 경우가 많지만, 동일 패턴을 많이 만들어야 하는 경우 등에서는 여전히 photolithography를 사용합니다. Cleanroom이 있는…